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雜質濃度測試儀的原理

更新時間:2017-08-31      點擊次數:399

雜質濃度測試儀

產品簡介 

原理:根據硅、鍺單晶的遷移率、電阻率和雜質濃度的關系,可直接測量、計算出晶體內的雜質濃度。  
范圍:它適合于測量橫截面尺寸是可測量的,而且棒的長度大于橫截面線度的有規則的長棒,例如橫斷面為圓形、正方形、長方形或梯形的單晶或多晶錠。  
用途:根據測量沿錠長雜質濃度的分布狀況決定產品的合格部分,通過雜質濃度的直接測量,決定晶體生長過程中的摻雜數量。  
樣品可在常溫或低溫下測量。  
顯示方式:儀器連接PC機,通過測試軟件計算,用對數坐標的方式來顯示雜質濃度(含次方數)沿錠長的分布曲線,可對曲線圖進行打印和保存。  
測量范圍: 可測晶體電阻率:0.005-3000Ω·cm。  
直流數字電壓表測量范圍:0-199.99mV,靈敏度:10μA。 

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